半導体プロファイル熱電対

タイプ：S、r
ワイヤまたはミム直径：φ{{0}}。35〜0.5
作業温度（度）：0 〜1100
ポイント数：3〜6ポイント
アプリケーション：太陽光発電（PV）細胞の製造プロセスの温度制御。

応用

酸化拡散炉は、PV細胞の生産のための重要なプロセス機器です。高温でシリコンウェーハ上のトレース量のホウ素、リン、その他の要素を混合および拡散して、PN接合部を調製し、そこから積分回路を構成します。また、シリコンウェーハの表面でSioxフィルムの準備に使用して、ウェーハを保護するために使用できます。炉の内側と外側の両方の部分を測定する熱電対を使用して、酸化プロセスを実行できる拡散炉の内部温度を制御するのが一般的です。指定された各温度ゾーンには、測定結果が信頼できることを確認するために、外側および内側の熱電対があります。マルチポイントノーブルメタルクォーツ熱電池は、ウェーハ温度を測定するために使用されます。通常、ウェーハ温度を正確に表す3〜9の測定ポイントがあります。

製品の説明

この目的のために、Duchinは、マルチポイント熱電対のキャリブレーション装置である拡散炉のセクション全体の温度測定のためのマルチポイントノーブルメタルクォーツ熱電対などの独自の技術と製品を開発しました。

この製品には、信頼できる温度測定、高精度、良好な安定性、高速熱応答、干渉防止、高温および低温耐性耐性、長いサービス寿命などの特性があります。半導体プロファイルの熱電対の技術的パラメーターは次のとおりです。

技術的なパラメーター	半導体プロファイル熱電対
タイプ	S,R
ワイヤーまたはMIMの直径	φ0.35~0.5
作業温度（度）	0~1100
精度（学位）	±1.0
保護チューブの長さ（mm）	4000以下
保護チューブの直径（mm）	φ12~18
保護チューブ材料	石英
ホットエンド構造	露出
ポイント数	3〜6ポイント
終了	小さなコネクタ
補償ワイヤ	sc {{0}}}×0.5fpf
構造特性	各ポイントの組み合わせでT/Cを組み立てることは非常に困難です