酸化プロセスを実行できる拡散炉は、炉フレーム、ヒーター、加熱制御装置、温度測定デバイス、クォーツ炉チューブ、プッシュプルキャリアトレイ、ガスパス、排気ガス処理装置で構成されています。この種の拡散炉の温度制御要件は次のとおりです。

温度範囲	Ambient -1100程度	制御精度	±2度
最大加熱速度	15度 /min	温度の均一性	±0。5度 /760mm
最大冷却率	5度 /分	安定性	±0。5度 /24時間

酸化拡散炉は、一般に、炉の内側と外側の熱電対を使用して、温度を動的に制御します。各温度ゾーンには、温度制御の信頼性を確保するために、1つの内側と1つの外側の熱電対が装備されています。 S型半導体熱電対（一般的な実践は、温度情報をつかむために3-9の異なるスポットを持つマルチポイント熱電対を利用します）は、シリコンウェーハの温度を直接感知するために使用され、正確なウェーハ温度表示に翻訳される可能性のある内部熱電対であるように選択されます。

製品の説明

Duchin機器は、マルチポイント熱電対の種類の構造、実験用のマルチポイント熱電対校正装置、コールドジャンク構造フォーマルチポイント熱電対、マルチポイント熱電対のターミナルパッケージ構造の一種、酸化装飾forのマルチポイント熱供給の複合メタル保護チューブの複合メタル保護チューブのタイプSENSING。太陽光発電機器に特化したS型半導体熱電対の技術的パラメーターは次のとおりです。

技術的なパラメーター	内部熱電対
タイプ	S,R
ワイヤーまたはMIMの直径	φ0.35~0.5
作業温度（度）	0~1100
精度（学位）	±1.0
保護チューブの長さ（mm）	4000以下
保護チューブの直径（mm）	φ12~18
保護チューブ材料	石英
ホットエンド構造	露出
ポイント数	3〜6ポイント
終了	小さなコネクタ
補償ワイヤ	sc {{0}}}×0.5fpf
構造特性	各ポイントの組み合わせでT/Cを組み立てることは非常に困難です