メインマルチポイントBF熱電対

酸化拡散炉は、PV細胞の生産のための重要なプロセス機器です。高温でシリコンウェーハ上のトレース量のホウ素、リン、その他の要素を混合および拡散して、PN接合部を調製し、そこから積分回路を構成します。

製品の説明

酸化拡散炉は、PV細胞の生産のための重要なプロセス機器です。高温でシリコンウェーハ上のトレース量のホウ素、リン、その他の要素を混合および拡散して、PN接合部を調製し、そこから積分回路を構成します。また、ウェーハを保護するために、シリコンウェーハの表面でSioxフィルムの準備にも使用できます。

炉の内側と外側の両方の部分を測定する熱電対を使用して、酸化プロセスを実行できる拡散炉の内部温度を制御することが一般的です。指定された各温度ゾーンには、測定結果が信頼できることを確認するために、外側および内側の熱電対があります。内側の熱電対は、ウェーハ温度を測定するために使用され、通常は3〜9の測定ポイントがあり、ウェーハ温度を正確に表します。外側の熱電対は、炉管の外面を感知するために使用され、それぞれが一般的に1つのワイヤーしか持っていないため、炉の間接測定値が得られます。通常、酸化プロセスの温度は拡散プロセスよりも低いため、KおよびNタイプのメインマルチポイントBF熱電対を展開できます。

技術的なパラメーター	メインマルチポイントBF熱電対
技術的なパラメーター	内部
タイプ	K,N
ワイヤーまたはMIMの直径	φ2~4
作業温度（度）	0~950
精度（学位）	±1.5または0。4％・t
保護チューブの長さ（mm）	4000以下
保護チューブの直径（mm）	φ14~22
保護チューブ材料	310または321
ホットエンド構造	絶縁されています
ポイント数	3〜9ポイント
終了	小さなコネクタ
補償ワイヤ	kx（nx）{{0}}×0.5fpf
構造特性	分解しやすい、必要に応じて任意のポイントのt/cを削除できます