半導体や太陽光発電の生産における高精度の温度監視に対する需要の高まりに応えるため、当社は炉内部温度試験用の高性能プロファイル熱電対シリーズを発売しました。{0}{1}
本シリーズは拡散炉用と酸化炉用の2タイプに分かれており、S/R、K/Nの目盛りタイプを用意しております。最大 1100 度の最大測定範囲と 3 から 9 までの多様な測定ポイントにより、シリコン ウェーハのフルカバー温度検出を実現します。-高品質の石英とステンレス鋼素材を採用した熱電対は、低い測定誤差、速い熱応答、長い耐用年数を誇ります。一方、この製品は低汚染性能を実現するように最適化されており、ウェーハ製造プロセスに影響を与えません。{7}}
プローブの長さ、直径、設置モードを柔軟に組み立て、カスタマイズできるため、拡散炉、酸化炉、アニール炉、その他の基幹製造装置に幅広く適用できます。当社のプロファイル熱電対は、安定した正確な熱プロファイル データを提供し、企業がプロセス効率と製品歩留まりを向上させるのに役立ちます。
私たちは温度検知ソリューションの最適化を継続し、世界の半導体産業と太陽光発電産業の高品質な発展をサポートしていきます。{0}