1. コア製品の位置付け

私たちのプロファイル熱電対は、半導体および太陽光発電産業向けに特別に開発されたプロフェッショナルなマルチポイント温度センサーです。{0}高温炉（拡散炉、酸化炉、アニール炉）内に直接設置され、シリコンウェーハのリアルタイムの温度分布を正確に測定し、プロセス制御と品質保証のための信頼できる熱プロファイルデータを提供します。-

2. 製品の主な利点

✅ 高精度の熱プロファイル監視-3 ～ 9 の多点温度測定をサポートし、炉ゾーン全体に正確な温度データを提供して死角を排除し、シリコンウェーハの均一な加熱を保証します。

✅ 優れた安定性と耐久性高品質の熱安定性材料で作られているため、優れた直線性、最小限の測定誤差、熱衝撃や電磁干渉に対する強い耐性を備えており、長いサイクルの生産要件を満たします。-

✅ クリーンでプロセスに優しい-デザイン半導体炉のクリーン、高温、低汚染の環境向けに最適化されており、粒子汚染やウェーハ製造プロセスへの悪影響を防ぎます。{0}

✅ 炉の互換性のために高度にカスタマイズ可能プローブの長さ、直径、シースの材質、取り付け方法をカスタマイズして、さまざまな炉モデルの空間レイアウトと技術仕様に完全に一致させます。

3. 技術仕様表

技術的パフォーマンス	拡散炉プロファイル熱電対	酸化炉プロファイル熱電対
卒業式	S, R	K, N
ワイヤー/シース径	φ0.35～0.5mm	φ2～4mm
動作温度範囲	0～1100度	0～950度
温度精度	±1.0度	±1.5度または0.4%t
シースの長さ	4000mm以下	4000mm以下
シース径	φ12～18mm	φ14～22mm
シース材質	石英	310S / 321 ステンレス鋼
測定端構造	露出した先端	絶縁チップ
測定点数	3～6点	3～9点
接続タイプ	ミニチュアコネクタ	ミニチュアコネクタ
補償ケーブル	SC-2x0.5FPF	KX(NX)-2x0.5FPF
組み立ての特徴	多点アセンブリは複雑です-	多点熱電対は自由に組み合わせることができます-